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代理德國Thyracont冷陰極真空計VSM77赫爾納供應
公司簡介
Thyracont Vacuum Instruments GmbH（德國Thyracont真空儀器有限公司）是一家源于德國的真空測量設備制造企業。該公司始于1970年，致力于真空測量技術的開發和生產，其業務涵蓋真空傳感器、真空計、真空開關、控制器及相關真空組件的供應，并為真空泵和真空處理設備制造商提供產品。Thyracont的產品應用于流程工業、涂層、分析與研發以及半導體和太陽能等多個領域。
Thyracont主要產品類型
1. 真空計 (Vacuum Gauges)
2. 真空傳感器 (Vacuum Sensors)
3. 真空開關 (Vacuum Switches)
4. 控制器 (Controllers)
5. 數字真空表 (Digital Vacuum Meters)
6. 真空變送器 (Vacuum Transducers)
7. 真空系統控制器 (Vacuum System Controllers)
8. 配件和真空組件 (Accessories and Vacuum Components)
Thyracont主要型號
1. VSM77 系列 (皮拉尼/冷陰極組合式真空變送器，含VSM77D, VSM77DL, VSM77E等型號)
2. VD8系列 (便攜式數字真空計，如VD81, VD83, VD84, VD85)
3. VSH系列 (冷陰極真空計)
4. VD6 (單通道真空顯示與控制單元)
5. VD12 (雙通道真空顯示與控制單元)
6. VRC (電子真空開關)
7. Smartline系列 (數字真空變送器)
8. VD800 (緊湊型真空計)
代理德國Thyracont冷陰極真空計VSM77產品介紹
VSM77是Thyracont公司生產的一款組合了皮拉尼（Pirani）和冷陰極（Cold Cathode）原理的智能數字真空變送器，用于從粗真空到超高真空（UHV）范圍的絕對壓力（Absolute Pressure） 測量，屬于其Smartline產品線。
技術參數
特性 | 參數值 |
測量原理 | 皮拉尼（Pirani）/ 冷陰極（倒置磁控管式）組合傳感器 |
測量范圍 | 1000 – 5×10?? mbar (1000 – 0.000000005 mbar) / 750 – 5×10?? Torr |
精度 | 1000-10 mbar: <30% 讀數、10-2×10?3 mbar: <10% 讀數、2×10?3-1×10?? mbar: <25% 讀數 |
重復性 | 10-1×10?2 mbar: ±2% 讀數、1×10?2-1×10?? mbar: ±7% 讀數 |
響應時間 | < 200 ms |
輸出信號 | 0-10 VDC (對數輸出，測量范圍1.82-8.6 V)；RS485串行接口；部分型號支持EtherCAT或Profinet |
供電電源 | 20 – 30 VDC |
真空接口 | DN 25 ISO-KF |
接觸真空材料 | 不銹鋼 1.4307, 鎢, 鎳, 玻璃, 鉬, Al?O?陶瓷 |
過載保護 | 可達 10 bar (16 bar 可選 CERT31P) |
工作溫度 | +5 °C 至 +60 °C |
防護等級 | IP40 (VSM77D/DL) 或 IP54 (VSM77E，帶配套連接器) |
電氣連接 | Sub-D 15針 (VSM77D/DL) 或 M12 連接器 (VSM77E) |
重量 | 約 555 g |
工作原理
VSM77采用了組合傳感器技術，集成了皮拉尼（Pirani）傳感器和冷陰極（Cold Cathode）傳感器。皮拉尼傳感器基于氣體導熱原理，適用于中低真空范圍（通常從大氣壓至約10?3 mbar），其測量結果會受氣體類型影響。冷陰極傳感器（采用倒置磁控管設計）基于氣體分子在強電場中發生電離產生離子流的原理，適用于高真空和超高真空范圍（從10?3 mbar延伸至5×10?? mbar），其測量結果同樣受氣體類型影響。內置的微處理器自動控制兩個傳感器之間的切換與數據融合，從而實現從大氣壓到超高真空的寬范圍連續測量，并提供經過處理和補償的信號輸出。
優勢特點
1. 極寬的測量范圍與自動切換：結合皮拉尼和冷陰極兩種原理，實現了從1000 mbar到5×10?? mbar的極寬量程覆蓋，并能自動在不同真空度區間切換傳感器工作，減少了冷陰極在較高壓力下的不必要的運行，有助于延長其使用壽命。
2. 結構設計與耐用性：采用金屬密封的不銹鋼測量元件，適用于高真空（UHV）和超高真空應用。具備較高的過壓保護能力（可達10 bar，可選16 bar）。耐腐蝕的金屬外殼提供了IP54或IP40的防護等級，適應工業環境。
3. 接口豐富與集成便捷：提供多種輸出接口，包括模擬量（0-10V）、RS485數字接口，部分型號支持EtherCAT或Profinet現場總線，便于連接PLC和控制系統。提供兩個獨立的無電勢繼電器開關點，可用于過程控制或報警。
4. 維護與校準便利：傳感器探頭設計為可更換式，且更換探頭時存儲的校準數據可隨之轉移，簡化了維護工作。支持通過按鈕或軟件界面進行零點和大氣壓的調整。
主要應用
VSM77真空變送器可應用于多個需要寬范圍真空測量與控制的領域，尤其是涉及高真空和超高真空的工藝過程，例如：
1. 分析儀器：用于質譜儀、電子顯微鏡等精密分析儀器中真空度的監控。
2. 鍍膜與氣相沉積系統：用于物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）等鍍膜工藝過程中真空度的監控與控制。
3. 真空爐與材料研究：用于高溫真空爐、材料燒結或合成設備中的壓力監控，確保高純度無氧環境。
4. 過程工程：用于半導體制造、太陽能電池生產等流程工業中涉及高真空過程的設備。
5. 超高真空測量與控制：任何需要監測或控制從粗真空到超高真空范圍的場合。
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